黄光区-防静电材料应用

发布:防静电pc板 浏览:236次 发布时间:2020-4-27

半导体制造业中的黄光区,不仅工艺复杂、设备维护频繁而且设备也最为昂贵,因此,黄光区是每个半导体制造企业最为关注的区域之一。

简单来讲

黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区

包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序

(因为光刻胶对其他光的波长比较敏感,黄光照明避免了光辐照后可能产生的光刻胶变性,就像传统的照相技术,胶片要在暗室才能洗出来。)

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本文主要结合天津市某超导净化厂房 ISO5 级黄光区应用实例对洁净区静电问题及处理方法(应用材料)进行探讨:

黄光区是此洁净厂房核心部件加工区域,空调面积 42㎡ ,建筑层高 3.7m,区内负荷 46.95kW,黄光区技术设计参数如表 1 所示 。

其他洁净区域特殊要求与设计参数,如表 2 所示。针对黄光区域施工工艺特殊性,本工程采用了不同的解决方法,供相关技术人员参考。

(黄光)洁净区静电问题及处理方法

工艺要求对室内控制的相对湿度偏低,这就造成了区域内空气干燥,进而会产生静电问题,静电的出现不但会影响产品质量,而且对区域内的工作人员造成身体伤害,因此工作人员必须穿着防静电服,在本工程中对洁净区域采取了若干防静电处理技术,如采用双面防静电的黄光高分子树脂板(或玻璃),铝蜂巢隔间做双面防静电处理,对于铝塑板、 PU 库板隔间墙做单面防静电处理等,如图所示。

该工程通过采用 Epoxy 技术,对地面,墙、柱、天花板做不同厚度 Epoxy 涂刷,成功地解决了地面防尘问题,又解决了区域防静电问题。

最后考虑人员与物料传输过程也会对黄光区造成污染,因此还要设置气阻室、空气浴尘室以及传递箱,如上图所示,所有这些措施只有一个目的就是维持黄光洁净区域的洁净度,确保生产工艺安全可靠。

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