黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区
(因为光刻胶对其他光的波长比较敏感,黄光照明避免了光辐照后可能产生的光刻胶变性,就像传统的照相技术,胶片要在暗室才能洗出来。)
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黄光区是此洁净厂房核心部件加工区域,空调面积 42㎡ ,建筑层高 3.7m,区内负荷 46.95kW,黄光区技术设计参数如表 1 所示 。
其他洁净区域特殊要求与设计参数,如表 2 所示。针对黄光区域施工工艺特殊性,本工程采用了不同的解决方法,供相关技术人员参考。
(黄光)洁净区静电问题及处理方法
最后考虑人员与物料传输过程也会对黄光区造成污染,因此还要设置气阻室、空气浴尘室以及传递箱,如上图所示,所有这些措施只有一个目的就是维持黄光洁净区域的洁净度,确保生产工艺安全可靠。